首先，我们需要了解什么是ITO膜。ITO是Indium Tin Oxide的缩写，中文名为氧化铟锡，是一种透明的导电材料。由于ITO膜具有良好的光电性能和化学稳定性，被广泛应用于液晶显示器、太阳能电池、有机发光二极管（OLED）等领域。
那么，ITO膜的关键性能指标有哪些呢？
1、电导率：电导率是衡量材料导电性能的重要指标。ITO膜的电导率一般在10⁴至10⁵ S/cm之间，远高于一般的金属导体，这使得它在电子器件中有着广泛的应用。
2、透光率：作为透明导电材料，ITO膜的透光率是其重要的性能指标。一般来说，ITO膜的透光率可以达到90%以上，这使得它在显示器件中有着重要的应用。
3、热稳定性：ITO膜需要在各种温度环境下稳定工作，因此，其热稳定性是一个重要的性能指标。一般来说，ITO膜的玻璃转变温度在400℃以上，这使得它可以在高温环境下稳定工作。
4、化学稳定性：ITO膜需要在各种化学环境下稳定工作，因此，其化学稳定性是一个重要的性能指标。一般来说，ITO膜对酸、碱、有机溶剂等具有良好的耐腐蚀性，这使得它可以在各种化学环境下稳定工作。
5、机械强度：ITO膜需要承受各种机械应力，因此，其机械强度是一个重要的性能指标。一般来说，ITO膜的硬度可以达到7H以上，这使得它可以在各种机械应力下稳定工作。
6、表面平整度：ITO膜的表面平整度直接影响到其光电性能和使用寿命，因此，它是一个重要的性能指标。一般来说，ITO膜的表面平整度可以达到10nm以下，这使得它可以在各种高精度设备中使用。
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